Zirkonium Sputtern Ziel, qualitativ hochwertige, monolithisch, Spalte, Rotary, zylindrische, Planar, kathodischen ARC, PVD Beschichtung, dünne Film Deposition, Zr der Magnetron Sputtern richtet sich an Hersteller und Lieferanten

Haohai Zirkonium Sputter Ziel- und Arc Kathoden sind bekannt und extensiv genutzte Gebiet PVD Beschichtung aufgrund hoher Reinheit, feine Körnungen, homogene Mikrostruktur, ausgezeichnete Oberflächenbeschaffenheit und genauen Abmessungen.

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Produkt - Details

ZIRKONIUM (Zr) SPUTTERTARGETS


Neben Titan-Produkte Zirkonium ist ein Hauptprodukte von Haohai, konzentrieren wir uns auf Zirkon-Materialien und ihre Anwendung für eine lange Zeit. Haohai Zirkonium Sputter Ziel- und Arc Kathoden sind bekannt und extensiv genutzte in PVD Beschichtung Bereich wegen der hohen Reinheit, feine Körnungen, homogene microstructure, ausgezeichnete Oberflächenbeschaffenheit und genauen Abmessungen.


Haohai Zirkonium Sputtertarget gehören monolithische rotary Sputtertarget Ziconium, planar Sputtertarget Zirkonium und Bogen kathodischen Ziel.



Zirkonium monolithischen Rotary (drehbar, zylindrische) Sputtertargets

Fertigungsprogramm

OD (mm)

ID (mm)

Länge (mm)

Custom Made

50 - 300

30 - 280

100 - 4000

Spezifikation

Zusammensetzung

ZR

Reinheit

R60702, 3N (99,9 %),3N5 (99,95 %), 4N (99,99 %)

Dichte

6,50 g/cm3

Korngrößen

Andlt; 80 µm oder auf Anfrage

Fertigungsprozesse

Vakuum-schmelzen, Schmieden, Extrudieren, Bearbeitung

Form

Gerade, Hundeknochen

Anschlussarten

SCI, SRF, DSF, RFF, WFF, VA, GPI endet Fixierung, spiralförmige Rille, Custom Made

Oberfläche

RA 1.6 Mikrometer


Andere Spezifikation

Dampf, entfettet und entmagnetisiert nach der abschließenden Bearbeitung

Zeichnung Anforderungen erfüllt ID muss GESCHLIFFEN und OD BODEN nach rohen Rohr hergestellt wird, um die ID zu OD Rundlauf zu gewährleisten.

Hohes Vakuum eng, Leckrate an jedem beliebigen Ort nicht zu überschreiten 1 x 10-8STD CC/SEK.

In Kunststoff versiegelt, eingehüllt in Schaum zu schützen und enden gekappt Oberflächen zum Schutz der Abdichtung

Normale Größen

Zirkonium-Rotary

Sputtertargets


Normale Größen


55mm ID X 70 OD mm X 1334 mm lang

80mm ID x 100mm OD x lang

125mm ID X 153 OD mm X 576 mm lang

125mm ID X 153 OD mm X 800 mm lang

125mm ID X 153 OD mm X 895 mm lang

125mm ID X 155 OD mm X 895 mm lang

125mm ID X 153 OD mm X 1172 mm lang

125mm ID X 153 OD mm X 1676 mm lang

125mm ID X 153 OD mm X 1940 mm lang

125mm ID X 153 OD mm X 1994 mm lang

125mm ID X 153 OD mm X 2420 mm lang

125mm ID X 153 OD mm X 3191 mm lang

125mm ID X 153 OD mm X 3582 mm lang

125mm ID x 153mm OD x lang

125mm ID X 180 OD mm X 624 mm lang

194mm ID X 219 OD mm X 2301 mm lang


Im Vergleich zum planaren Konfigurationen, zylindrische Sputtertarget Haohai bieten:

Größere Erosion-Zonen, die 2-bis 2,5-fache der stoffliche Verwertung zur Verfügung zu stellen

Längere Lebensdauer der Ziel, das reduziert die Häufigkeit von Ausfallzeiten für Wartung Changeouts und Kammer

Maßanfertigung in monolithischen, segmentierte oder thermischer Spray Formaten

End-Features, die Präzision maschinell bearbeitet für individuelle Kathode Systementwürfe sind

Reduzieren der Cost of Ownership für großflächige Veredelungsstufen

Vielzahl der Materialien einschließlich

Optimale Korngröße und einheitliche Mikrostruktur gewährleisten konsistente Prozessleistung durch vollständige Ende des Lebens

Vollständige Homogenität und hohe Reinheitsgrade produzieren einheitliche Berichterstattung

In der Lage, Materialien zu jeder Größe-Operation von Randamp liefern; D, Serienfertigung


Zirkonium Planar (Rechteck, Rundschreiben) Sputtertargets


Fertigungsprogramm

Rechteck

Länge (mm)

Breite (mm)

Dicke (mm)

Custom Made

10 - 2000

10 - 1200

1.0 - 50.8

Kreisförmige

Durchmesser (mm)


Dicke (mm)

10 - 1000


1.0-100

Spezifikation

Zusammensetzung

ZR

Reinheit

R60702, 3N (99,9 %), 3.5N (99,95 %),4N (99,99 %), 4.5N (99,995 %)

Dichte

6,50 g/cm3

Korngrößen

Andlt; 80 µm oder auf Anfrage

Fertigungsprozesse

Vakuum-schmelzen, Schmieden, Walzen, Bearbeitung

Form

Platte, Scheibe, Schritt, Custom Made

Typen

Monolithische, mehreren Segmenten Ziel-

Oberfläche

RA 1.6 Mikrometer

Andere Spezifikationen

Rechteck-Ziele

Gewalzte Platten pro ASTM B551

Für Rechteck Ziele wir große Platten in Größen mit Wasserstrahl geschnitten, damit die Zusammensetzung, mechanischen Eigenschaften und die Kornstruktur des jedes Teil im selben Batch ist homogen und konsistent. Liefern wir das Layout der master Platte, unsere Kunden kann die Position von jedem Teil von unserem Kennzeichnungssystem verfolgen.

Kreisförmige Ziele

Gewalzte Takte pro ASTM B550

Für die kreisförmige Ziele wir schneiden lange Stangen in Größen von Draht-Elektrode schneiden, um sicherzustellen, dass die Zusammensetzung, mechanischen Eigenschaften und die Kornstruktur des jedes Teil im selben Batch ist homogen und konsistent, liefern wir das Layout der Meister Bar, unser Kunde die Position jedes Teils von unserem Markierungssystem verfolgen kann.

Wir sorgen dafür, die gleiche Faserrichtung in mehreren Segmenten Bauteile.

Ebenheit, saubere Oberfläche, poliert, frei von Riss, Öl, Punkt.




Zirkonium Arc Kathoden

Wir liefern Dreh- und planare Arc Kathoden sowie Dreh- und planare Sputtertargets




Für unsere Sputtertargets Zirkonium und Arc Kathoden


Toleranz

ACC, Zeichnungen oder auf Anfrage.


Verunreinigungen Inhalt (wt%/ppm)

Zirkonium-Inhalt [Gew.-%]


ZR 702 (Gew.-%)

ZR (ppm)

Reinheit [%]


99.2

99.95

Metallische Verunreinigungen [μg/g]

ZR + Hf

99.2

-

HF

4.5

-

Fe + Cr

0.2

-

SN

-

16

NB

-

0.03

Al-48
Si-35
TI
-35
CR-3.5
Fe-50
NI-4
Mo-4

PD

-

5

U

-

1

Nichtmetallischen Verunreinigungen [μg/g]

S

-

15

N

0.025

30

C

0.05

50

O

0.16

100

Garantiert Dichte [g/cm3]


6.51

6.51

Korngröße [μm]


100

100

Wärmeleitfähigkeit [W / (m· (K)]


22.7

22.7

Thermischen Ausdehnungskoeffizienten [1/K]


5.8·10-6

5.8·10-6

Konzentrationen von anderen Metallelemente sind zu niedrig bestimmt werden.


Anwendung

Großflächige Glasbeschichtung (Low-E, Automotive)

Verschleißfeste Beschichtung

Dekorative Beschichtung

Optische Beschichtung



Haohai Metall, ausgestattet mit professionellen Factory, ist einer der führenden Hersteller und Anbieter von verschiedenen Größen Produkte zu binden. Wir sind ein Ziel, qualitativ hochwertige, monolithischen, Spalte, rotary, zylindrische, planar, kathodischen Bogens, Pvd-Beschichtung, Sputtern Zirkonium Dünnschicht-Abscheidung, das Magnetron-Sputtern zr richtet sich an Hersteller und Lieferanten. Willkommen Sie bei kaufen und Großhandel unsere Produkte mit niedrigem Preis, hohe Nutzungsraten, hohe Reinheit und hohe Qualität mit unseren Produzenten.

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